電子水準儀又稱數字水準儀，它是在自動安平水準儀的基礎上發展起來的。它采用條碼標尺，各廠家標尺編碼的條碼圖案不相同，不能互換使用。
目前照準標尺和調焦仍需目視進行。人工完成照準和調焦之后，標尺條碼一方面被成象在望遠鏡分化板上，供目視觀測，另一方面通過望遠鏡的分光鏡，標尺條碼又被成象在光電傳感器（又稱探測器）上，即線陣CCD器件上，供電子讀數。因此，如果使用傳統水準標尺，電子水準儀又可以象普通自動安平水準儀一樣使用。不過這時的測量精度低于電子測量的精度。特別是精密電子水準儀，由于沒有光學測微器，當成普通自動安平水準儀使用時，其精度更低。
當前電子水準儀采用了原理上相差較大的三種自動電子讀數方法：
- 相關法（徠卡NA3002/3003）
- 幾何法（蔡司DiNi10/20）
- 相位法（拓普康DL101C/102C）
相位法原理：
拓普康電子水準儀DL101C/102C采用相位法。標尺的條碼象經望遠鏡、調焦鏡、補償器的光學零件和分光鏡后，分成兩路，一路成象在CCD線陣上，用于進行光電轉換，另一路成象在分劃板上，供目視觀測。DL101標尺上部份條碼的圖案，其中有三種不同的碼條。R表示參考碼，其中有三條2mm寬的黑色碼條，每兩條黑色碼條之間是一條1mm寬的黃色碼條。以中間的黑碼條的中心線為準，每隔30mm就有一組R碼條重復出現。在每組R碼條左邊10mm處有一道黑色的B碼條。在每組參考碼R的右邊10mm處為一道黑色的A碼條。讀者不難發現，每組R碼條兩邊的A和B碼條的寬窄不相同，實際上A和B碼條的寬度是在0到10mm之間變化，這兩種碼包含了水準測量時的高度信息。儀器設計時有意安排了它們的寬度按正弦規律變化。其中A碼條的周期為600mm，B碼條的周期為570mm。
當然，R碼條組兩邊的黃碼條寬度也是按正弦規律變化的，這樣在標尺長度方向上就形成了亮暗強度按正弦規律周期變化的亮度波。條碼的下面畫出了波形?？v坐標表示黑條碼的寬度，橫坐標市標尺的長度。實線為A碼的亮度波，虛線為B碼的亮度波。由于A和B兩條碼變化的周期不同，也可以說A和B亮度波的波長不同，在標尺長度方向上的每一位置上兩亮度波的相位差也不同。這種相位差就好象傳統水準標尺上的分劃，它可由標出標尺的長度。只要3能測出標尺底部某處的相位差，也就可由知道該處到標尺底部的高度，因為相位差可以作到和標尺長度一一對應，即具有單值性。這就是適當選則兩亮度波的波長，在DL101中A碼的周期為600mm，B碼的周期為570mm，它們的最小公倍數為11400mm，因此在3m長的標尺上不會有相同的相位差。為了確保標尺底端面，或說相位差分劃的端點相位差具有唯一性，A和B碼的相位在此錯過了π/2。
DL－102C的標尺與DL－101C的略有區別，DL－102C的標尺為白底黑條碼，A碼的波長為330mm，最小公倍數為3300mm。A和B碼在波長底部錯開的相位差為π。DL101－C的標尺與DL－102C的標尺可由互換使用。
當望遠鏡照準標尺后，標尺上某一段的條碼就成象在線陣CCD上，黃條碼使CCD產生光電流，隨條碼寬窄的改變，光電流強度也變化。將它進行模數轉換(A/D)后，得到不同的灰度值。視距在Δ0.6m時標尺上某小段成象到CCDA上經A/D轉換后，得到的不同灰度值(縱坐標)，橫坐標是CCD上象素的序號，當灰度值逐一輸出時，橫軸就代表時間了。橫坐標標記的數字判斷，儀器采用了512個象素的線陣CCD。視距和視線高的信息的測量信號。
如何從上述測量信號中求出A和B兩亮度波的相位差呢？
下文用測量人員容易理解的方式來說明。設想縱坐標的灰度值就是表示亮度大小的十進位數字，而且橫坐標尺寸已放大到和標尺尺寸一致。我們用一波長為600mm的正弦曲線中的離散灰度值曲線擬合，就可由得到A波的最大振幅和初相位。再用波長為570mm的正弦曲線，就可由得到B波的最大振幅和初相位。我們對最大振幅不太感興趣，因為隨著標尺上的照度不同，最大振幅在不同次數的測量中也不同，對我們求視線高無關緊要。我們求出的A和B兩亮度波的初相位之差就是高度數據。不過這是與CCD上第一個象素對應的位置到標尺底端面的高度。我們不難把它換算成CCD中點象素上的相位差，這就好象是中絲讀數。
像上述那樣人工處理測量信號是很麻煩的，而且很費時間。在DL系列中則采用快速傅里葉變換(FFT)計算方法將測量信號在信號分析器中分解成三個頻率分量。由A和B兩信號的相位求相位差，即得到視線高讀數。這只是初讀數。因為視距不同時，標尺上的波長與測量信號波長的比例不同。雖然在同一視距上A和B的波長相同，可由求出相位差，或說視線高，但是可以想象其精度并不高。
R碼是為了提高讀數精度和求視距二安排的。設兩組R碼的間距為P(=30mm)，它在CCD行陣上成象所占的象素個數為Z,象素寬為D(=25μm)，則P在CCD行陣上的成象長度為：
L=Z*b (1－5)
Z可由一信號分析中得出，b是CCD光敏窗口的寬度，因此l和P都為已知數據。根據幾何光學成象原理，可以象傳統儀器用視距絲測量距離的視距測量原理一樣求出視距：
D=P/l*f (1－6)
式中f是望遠鏡物鏡的焦距。同時還可以求出物象比
A=P/l (1－7)
于是將測量信號放大到與標尺上的一樣時，再進行相位測量，就可以精確得出相位差，即視線高。
電子水準儀的三種測量原理各有奧妙，三類儀器都經受了各種檢驗和實際測量的考驗，能勝任精密水準測量作業。